日本精工與V-TECHNOLOGY研發低成本液晶面板曝光裝置

日本精工（NSK）週二（3/20）宣布已與V-TECHNOLOGY簽下低成本液晶面板曝光技術EGIS（Exposure System Guided by Image Sensor）合作契約，日後兩社也將共同製作、販售此類相關技術產品。

EGIS是V-TECHNOLOGY研發，專門提供給液晶面板廠提升大型電視顯示器生產效率、基板大型化（2.16×2.46m第八代面板）、製程改進等用途使用的技術，它可製作成由小型光罩與圖像偵測單位組成的In-situ Local Alignment System，用以辨識靠近曝光位置的玻璃基板圖樣（pattern），並精密控制光罩的座標位置。

NSK表示，液晶面板製造業者引進EGIS後就不需要購買昂貴的大型光罩，而以往玻璃基板採用大型光罩必須分4～6次曝光，現在只需要排列與玻璃基板同寬的小型EGIS光罩，在玻璃基板上一邊移動一邊曝光即可。

經過新的製程試算，V-TECHNOLOGY認為光罩使用成本可降低為現行製程的15分之1，同時能兼顧穩定性與耐用性，預計今年8月可推出使用該技術的曝光裝置。（編譯/張志裕）