台積電注資ASML 11億歐元加速製程技術發展

繼全球最大晶片製造商英特爾（Intel）投資荷蘭半導體設備製造商ASML（艾司摩爾）之後，台積電（TSMC）也在本周日（8/5）宣布以8.38億歐元（約10億美元）取得ASML的5%股份，同時也將另外投資2.76億歐元（約3.4億美元）的經費加速ASML的技術研發。

ASML為全球最大的半導體設備製造商之一，英特爾將分兩階段投資ASML，第一階段的內容包括5.53億歐元的研發基金，以及以17億歐元取得ASML的10%股份，第二階段的內容則與台積電一模一樣，包含2.76億美元的研發經費與以8.38億美元取得ASML 5%股份的協議。

這是因為ASML提出了客戶共同投資計畫（Customer Co-Investment Program），要求該公司的主要客戶共同負擔ASML研發極紫外光（EUV）微影（lithography）技術及450毫米晶圓技術的風險與財務重擔，計畫釋出25%的股份，而英特爾與台積電則前後加入了該計畫，總計取得了20%的ASML股份，還有5%股份可供其他客戶認領。

台積電共同營運長蔣尚義表示，IC尺寸目前所面臨的最大挑戰之一在於如何有效控制日益攀升的晶圓製造成本，相信挹注ASML研發經費將能確保並加快EUV微影技術的開發，同時也能提高既有光學微影工具的效能，促進450毫米晶圓製造技術的快速發展，將有助半導體產業控制晶圓成本，保障摩爾定律持續演進所能帶來的經濟效益。

ASML執行長Eric Meurice則說，歡迎台積電加入該計畫以協助關鍵技術的開發，這些技術不但能讓投資夥伴受益，整個半導體產業也將得以受惠。（編譯/陳曉莉）